| 020356 | 华夏半导体材料设备ETF联接A | 4.1600 | 4.1600 | 0.1375 | 3.42% | 开放 | 开放 |
| 020357 | 华夏半导体材料设备ETF联接C | 4.1301 | 4.1301 | 0.1364 | 3.42% | 开放 | 开放 |
| 019633 | 国泰半导体设备ETF联接C | 3.4153 | 3.4153 | 0.1117 | 3.38% | 开放 | 开放 |
| 019632 | 国泰半导体设备ETF联接A | 3.4331 | 3.4331 | 0.1122 | 3.38% | 开放 | 开放 |
| 023829 | 万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 3.1694 | 3.1694 | 0.1026 | 3.35% | 开放 | 开放 |
| 023828 | 万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 3.1766 | 3.1766 | 0.1028 | 3.34% | 开放 | 开放 |
| 021893 | 易方达半导体设备ETF联接A | 3.0120 | 3.0120 | 0.0972 | 3.33% | 开放 | 开放 |
| 021894 | 易方达半导体设备ETF联接C | 2.9978 | 2.9978 | 0.0967 | 3.33% | 开放 | 开放 |
| 021532 | 天弘半导体设备指数A | 3.9470 | 3.9470 | 0.1246 | 3.26% | 开放 | 开放 |
| 021533 | 天弘半导体设备指数C | 3.9306 | 3.9306 | 0.1240 | 3.26% | 开放 | 开放 |
| 020640 | 广发半导体设备ETF联接C | 3.9510 | 3.9510 | 0.1227 | 3.21% | 开放 | 开放 |
| 020639 | 广发半导体设备ETF联接A | 3.9781 | 3.9781 | 0.1235 | 3.20% | 开放 | 开放 |
| 024418 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 2.8495 | 2.8495 | 0.0882 | 3.19% | 开放 | 开放 |
| 024417 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 2.8540 | 2.8540 | 0.0883 | 3.19% | 开放 | 开放 |
| 024974 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 2.9553 | 2.9553 | 0.0856 | 2.98% | 限大额 | 开放 |
| 024975 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 2.9503 | 2.9503 | 0.0854 | 2.98% | 限大额 | 开放 |
| 014854 | 嘉实中证半导体指数增强发起式A | 3.9623 | 3.9623 | 0.0697 | 1.79% | 开放 | 开放 |
| 014855 | 嘉实中证半导体指数增强发起式C | 3.9213 | 3.9213 | 0.0689 | 1.79% | 开放 | 开放 |
| 024195 | 永赢国证商用卫星通信产业ETF发起联接C | 1.5526 | 1.5526 | 0.0250 | 1.64% | 开放 | 开放 |
| 024194 | 永赢国证商用卫星通信产业ETF发起联接A | 1.5562 | 1.5562 | 0.0250 | 1.63% | 开放 | 开放 |
| 020839 | 南方中证半导体产业指数发起A | 4.3596 | 4.3596 | 0.0693 | 1.62% | 开放 | 开放 |
| 020840 | 南方中证半导体产业指数发起C | 4.3302 | 4.3302 | 0.0687 | 1.61% | 开放 | 开放 |
| 021718 | 华泰紫金中证半导体产业指数型发起A | 4.1140 | 4.1140 | 0.0651 | 1.61% | 开放 | 开放 |
| 021719 | 华泰紫金中证半导体产业指数型发起C | 4.0956 | 4.0956 | 0.0647 | 1.61% | 开放 | 开放 |
| 020464 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接A | 4.4454 | 4.4454 | 0.0661 | 1.51% | 开放 | 开放 |
| 020465 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接C | 4.4035 | 4.4035 | 0.0654 | 1.51% | 开放 | 开放 |
| 024069 | 上银中证半导体产业指数发起式A | 3.2019 | 3.2019 | 0.0451 | 1.43% | 开放 | 开放 |
| 024070 | 上银中证半导体产业指数发起式C | 3.1949 | 3.1949 | 0.0450 | 1.43% | 开放 | 开放 |
| 008986 | 广发上海金ETF联接A | 1.8892 | 1.8892 | 0.0224 | 1.20% | 开放 | 开放 |
| 008987 | 广发上海金ETF联接C | 1.8507 | 1.8507 | 0.0219 | 1.20% | 开放 | 开放 |