| 024418 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 1.5683 | 1.5683 | 0.0886 | 5.99% | 开放 | 开放 |
| 024417 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 1.5703 | 1.5703 | 0.0887 | 5.99% | 开放 | 开放 |
| 020639 | 广发半导体设备ETF联接A | 2.2653 | 2.2653 | 0.1270 | 5.94% | 开放 | 开放 |
| 020640 | 广发半导体设备ETF联接C | 2.2509 | 2.2509 | 0.1261 | 5.93% | 开放 | 开放 |
| 020356 | 华夏半导体材料设备ETF联接A | 2.3717 | 2.3717 | 0.1326 | 5.92% | 开放 | 开放 |
| 020357 | 华夏半导体材料设备ETF联接C | 2.3558 | 2.3558 | 0.1316 | 5.92% | 开放 | 开放 |
| 021532 | 天弘半导体设备指数A | 2.2485 | 2.2485 | 0.1256 | 5.92% | 开放 | 开放 |
| 021533 | 天弘半导体设备指数C | 2.2399 | 2.2399 | 0.1250 | 5.91% | 开放 | 开放 |
| 024974 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 1.6663 | 1.6663 | 0.0924 | 5.87% | 限大额 | 开放 |
| 024975 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 1.6640 | 1.6640 | 0.0922 | 5.87% | 限大额 | 开放 |
| 021893 | 易方达半导体设备ETF联接A | 1.7262 | 1.7262 | 0.0956 | 5.86% | 开放 | 开放 |
| 021894 | 易方达半导体设备ETF联接C | 1.7189 | 1.7189 | 0.0951 | 5.86% | 开放 | 开放 |
| 019633 | 国泰半导体设备ETF联接C | 1.9601 | 1.9601 | 0.1081 | 5.84% | 开放 | 开放 |
| 019632 | 国泰半导体设备ETF联接A | 1.9696 | 1.9696 | 0.1086 | 5.84% | 开放 | 开放 |
| 023828 | 万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 1.8325 | 1.8325 | 0.1002 | 5.78% | 开放 | 开放 |
| 023829 | 万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 1.8290 | 1.8290 | 0.1000 | 5.78% | 开放 | 开放 |
| 024069 | 上银中证半导体产业指数发起式A | 1.9418 | 1.9418 | 0.1061 | 5.78% | 开放 | 开放 |
| 024070 | 上银中证半导体产业指数发起式C | 1.9382 | 1.9382 | 0.1059 | 5.78% | 开放 | 开放 |
| 021718 | 华泰紫金中证半导体产业指数型发起A | 2.4963 | 2.4963 | 0.1349 | 5.71% | 开放 | 开放 |
| 021719 | 华泰紫金中证半导体产业指数型发起C | 2.4862 | 2.4862 | 0.1343 | 5.71% | 开放 | 开放 |
| 020839 | 南方中证半导体产业指数发起A | 2.6321 | 2.6321 | 0.1421 | 5.71% | 开放 | 开放 |
| 020840 | 南方中证半导体产业指数发起C | 2.6157 | 2.6157 | 0.1411 | 5.70% | 开放 | 开放 |
| 020464 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接A | 2.7133 | 2.7133 | 0.1452 | 5.65% | 开放 | 开放 |
| 020465 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接C | 2.6895 | 2.6895 | 0.1439 | 5.65% | 开放 | 开放 |
| 014854 | 嘉实中证半导体指数增强发起式A | 2.4296 | 2.4296 | 0.1241 | 5.38% | 开放 | 开放 |
| 014855 | 嘉实中证半导体指数增强发起式C | 2.4054 | 2.4054 | 0.1227 | 5.38% | 开放 | 开放 |
| 014193 | 汇添富中证芯片产业指数增强发起式A | 1.5193 | 1.5193 | 0.0749 | 5.19% | 开放 | 开放 |
| 014194 | 汇添富中证芯片产业指数增强发起式C | 1.4992 | 1.4992 | 0.0739 | 5.18% | 开放 | 开放 |
| 008887 | 华夏国证半导体芯片ETF联接A | 1.7466 | 1.7466 | 0.0768 | 4.60% | 开放 | 开放 |
| 008888 | 华夏国证半导体芯片ETF联接C | 1.7160 | 1.7160 | 0.0753 | 4.59% | 开放 | 开放 |