| 024417 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 2.3985 | 2.3985 | 0.0720 | 3.09% | 开放 | 开放 |
| 024418 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 2.3943 | 2.3943 | 0.0718 | 3.09% | 开放 | 开放 |
| 024974 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 2.4988 | 2.4988 | 0.0739 | 3.05% | 限大额 | 开放 |
| 024975 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 2.4942 | 2.4942 | 0.0737 | 3.04% | 限大额 | 开放 |
| 021533 | 天弘半导体设备指数C | 3.3580 | 3.3580 | 0.0938 | 2.87% | 开放 | 开放 |
| 021532 | 天弘半导体设备指数A | 3.3725 | 3.3725 | 0.0942 | 2.87% | 开放 | 开放 |
| 021893 | 易方达半导体设备ETF联接A | 2.5702 | 2.5702 | 0.0712 | 2.85% | 开放 | 开放 |
| 020639 | 广发半导体设备ETF联接A | 3.3795 | 3.3795 | 0.0936 | 2.85% | 开放 | 开放 |
| 020640 | 广发半导体设备ETF联接C | 3.3557 | 3.3557 | 0.0929 | 2.85% | 开放 | 开放 |
| 021894 | 易方达半导体设备ETF联接C | 2.5575 | 2.5575 | 0.0708 | 2.85% | 开放 | 开放 |
| 023828 | 万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A | 2.7041 | 2.7041 | 0.0748 | 2.84% | 开放 | 开放 |
| 023829 | 万家中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C | 2.6975 | 2.6975 | 0.0745 | 2.84% | 开放 | 开放 |
| 019632 | 国泰半导体设备ETF联接A | 2.9346 | 2.9346 | 0.0801 | 2.81% | 开放 | 开放 |
| 019633 | 国泰半导体设备ETF联接C | 2.9189 | 2.9189 | 0.0796 | 2.80% | 开放 | 开放 |
| 020357 | 华夏半导体材料设备ETF联接C | 3.5172 | 3.5172 | 0.0941 | 2.75% | 开放 | 开放 |
| 020356 | 华夏半导体材料设备ETF联接A | 3.5434 | 3.5434 | 0.0948 | 2.75% | 开放 | 开放 |
| 024070 | 上银中证半导体产业指数发起式C | 2.8432 | 2.8432 | 0.0654 | 2.35% | 开放 | 开放 |
| 024069 | 上银中证半导体产业指数发起式A | 2.8498 | 2.8498 | 0.0655 | 2.35% | 开放 | 开放 |
| 020839 | 南方中证半导体产业指数发起A | 3.8866 | 3.8866 | 0.0882 | 2.32% | 开放 | 开放 |
| 020840 | 南方中证半导体产业指数发起C | 3.8595 | 3.8595 | 0.0875 | 2.32% | 开放 | 开放 |
| 014854 | 嘉实中证半导体指数增强发起式A | 3.4967 | 3.4967 | 0.0782 | 2.29% | 开放 | 开放 |
| 014855 | 嘉实中证半导体指数增强发起式C | 3.4599 | 3.4599 | 0.0773 | 2.29% | 开放 | 开放 |
| 020464 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接A | 3.9467 | 3.9467 | 0.0881 | 2.28% | 开放 | 开放 |
| 020465 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接C | 3.9083 | 3.9083 | 0.0872 | 2.28% | 开放 | 开放 |
| 021718 | 华泰紫金中证半导体产业指数型发起A | 3.6604 | 3.6604 | 0.0763 | 2.13% | 开放 | 开放 |
| 021719 | 华泰紫金中证半导体产业指数型发起C | 3.6434 | 3.6434 | 0.0759 | 2.13% | 开放 | 开放 |
| 014193 | 汇添富中证芯片产业指数增强发起式A | 2.1008 | 2.1008 | 0.0285 | 1.38% | 开放 | 开放 |
| 014194 | 汇添富中证芯片产业指数增强发起式C | 2.0715 | 2.0715 | 0.0281 | 1.38% | 开放 | 开放 |
| 014418 | 西部利得CES芯片指数增强A | 1.6851 | 1.6851 | 0.0159 | 0.95% | 开放 | 开放 |
| 014419 | 西部利得CES芯片指数增强C | 1.6544 | 1.6544 | 0.0155 | 0.95% | 开放 | 开放 |